至纯科技（全称：上海至纯洁净系统科技股份有限公司）是一家专注于高纯工艺系统及半导体装备领域的中国高新技术企业，成立于2000年，总部位于上海。公司主要服务于半导体、光伏、生物医药、LED等高端制造业，提供高纯工艺系统的设计、制造及安装服务，并逐步向半导体核心设备领域拓展。

核心业务与产品：
1、高纯工艺系统：
为半导体、光伏等行业提供高纯气体、化学品输送系统，确保生产环境的洁净度和介质纯度。
涵盖设计、材料选择、安装及检测全流程。

2、半导体湿法设备：
开发湿法清洗设备（如槽式、单片式清洗机），用于晶圆制造中的去胶、蚀刻、清洗等工艺。
技术逐步提升至28nm及以下先进制程，客户包括中芯国际等国内龙头晶圆厂。

3、其他业务：
生物制药领域：提供流体与洁净系统解决方案。
泛半导体：服务LED、光伏等产业。

技术实力与市场地位：
国内高纯工艺系统的主要供应商之一，湿法设备领域打破国际垄断。
持续加大研发投入，推进设备国产化替代，部分产品性能接近国际水平。

发展动态（截至2023年）：
产能扩张：在安徽、江苏等地新建生产基地，提升湿法设备产能。
订单增长：受益于国内半导体产业链自主化趋势，订单量显著增加。
战略合作：与多家晶圆厂、科研机构合作开发先进工艺设备。

资本市场：
2017年在上交所主板上市（股票代码：603690）。
近年营收增长较快，但受行业周期及研发投入影响，净利润可能存在波动。

行业前景：
随着中国半导体产业自主化加速，至纯科技在设备及高纯系统领域有望持续受益，但需面对国际巨头（如Applied Materials、TEL）的竞争压力。

如需更详细财务数据或最新进展，建议查阅公司年报或行业分析报告。